CH-300电磁型全自动霍尔效应测试系统
本霍尔效应测试系统由电磁铁、电磁铁电源、高精度恒流源、高精度电压表、高精度源表、矩阵卡、霍尔效应样品支架、三维微型探针台、电视显微镜、标准样品、系统软件组成。用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要参数,而这些参数是了解半导体材料电学特性必须预先掌控的,因此霍尔效应测试系统是理解和研究半导体器件和半导体材料电学特性必备的工具。可移动微型探针台结合高清晰电视显微镜可根据客户需求测试电极很小的材料参数。 实验结果由软件自动计算得到,可同时得到体载流子浓度(Bulk Carrier Concentration)、表面载流子浓度(Sheet Carrier Concentration)、迁移率(Mobility)、电阻率(Resistivity)、霍尔系数(Hall Coefficient)、磁致电阻(Magnetoresistance)等等。
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